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在表面處理中,許多半導體材料在加工過程中都需要清洗、刻蝕以確保產(chǎn)品質(zhì)量。因此在半導體行業(yè)中,等離子刻蝕機工藝技術(shù),半導體真空等離子清洗應(yīng)用愈來愈受人們的重視。
等離子清洗是半導體封裝制造業(yè)中常見運用化學性質(zhì)形式。這也是等離子清洗擁有比較突出的特色,能夠促進增加晶粒與焊盤的導電的性能。焊料的潤濕性、金屬線的點焊強度、塑料外殼包覆的安全性。在半導體元器件、電子光學系統(tǒng)、晶體材料等集成電路芯片運用中都有廣泛的行業(yè)應(yīng)用。
半導體封裝中一般使用的是真空等離子清洗機,因為處理的半導體例如:晶圓、支架等產(chǎn)品對工藝環(huán)境的要求很高,所需真空反應(yīng)腔的材質(zhì)選擇也很講究。
金鉑利萊-半導體行業(yè)真空等離子清洗機一般選擇使用鋁反應(yīng)腔的五大優(yōu)勢:
(1) 鋁合金密度低,強度高,超過優(yōu)質(zhì)鋼,機械加工性能比較好。
(2) 鋁具有優(yōu)良的導電性、導熱性和抗蝕性。
(3)材料對化學反應(yīng)的兼容性比較好,不易產(chǎn)生金屬污染。
(4)表面處理方面鋁合金較為豐富,包括電泳、噴涂、陽極氧化等。
(5)趨膚深度鋁是不銹鋼的10倍以上,使得電流分布更均勻,腔體不容易發(fā)熱。
金鉑利萊注重表面處理解決方案。專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)等離子清洗機、等離子活化處理機的科技企業(yè),自主研發(fā)生產(chǎn)的等離子清洗機、真空等離子清洗設(shè)備,大氣常壓等離子表面清洗機、應(yīng)用于多個行業(yè)等離子表面清洗、活化、刻蝕。
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