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等離子清洗機(jī)的清洗技術(shù)分為幾類?等離子體主要是通過(guò)氣體放電產(chǎn)生,其中包含電子、離子、自由基以及紫外線等高能量物質(zhì),具有活化材料表面的作用。下面,鑫銳華的小編給大家分享:
根據(jù)反應(yīng)類型不同,等離子體清洗技術(shù)可分為兩類:等離子體物理清洗,即借助活性粒子和高能射線轟擊而使污染物脫離;等離子體化學(xué)清洗,即通過(guò)活性粒子與雜質(zhì)分子反應(yīng)而使污染物揮發(fā)脫離。
(1)激發(fā)頻率對(duì)等離子體的清洗類型具有一定影響。例如,超聲等離子體(激發(fā)頻率,40kHz)發(fā)生的反應(yīng)多為物理反應(yīng);微波等離子體(激發(fā)頻率,2.45GHz)發(fā)生的反應(yīng)多為化學(xué)反應(yīng);而射頻等離子體(激發(fā)頻率,13.56MHz)則涉及到物理、化學(xué)雙重反應(yīng)類型。
(2)工作氣體種類對(duì)等離子體清洗類型也具有一定影響。例如,惰性氣體Ar2、N2等被激發(fā)產(chǎn)生的等離子體主要用于物理清洗,借助轟擊作用使材料表面清潔;而反應(yīng)性氣體O2、H2等被激發(fā)產(chǎn)生的等離子體則主要用于化學(xué)清洗,借助活潑自由基與污染物(多為碳?xì)浠衔?發(fā)生化學(xué)反應(yīng),產(chǎn)生一氧化碳、二氧化碳、水等小分子,從材料表面移除。
(3)等離子體清洗類型對(duì)清洗效果具有一定的影響。等離子體物理清洗可使材料表面的粗糙度增加,有助于提高材料表面的附著力;等離子體化學(xué)清洗可以顯著增加材料表面的含氧、含氮以及其他類型的活性基團(tuán),有助于改善材料的表面浸潤(rùn)性。
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