一、什么是等離子？等離子體是怎么形成的？

    等離子并非很神秘，等離子體是不同于固體、液體和氣體的物質(zhì)第四態(tài)。物質(zhì)由分子構(gòu)成，分子由原子構(gòu)成，原子由帶正電的原子核和圍繞它的、帶負(fù)電的電子構(gòu)成。當(dāng)被加熱到足夠高的溫度或其他原因，外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子，就像下課后的學(xué)生跑到操場(chǎng)上隨意玩耍一樣。電子離開(kāi)原子核，這個(gè)過(guò)程就叫做“電離”。這時(shí)，物質(zhì)就變成了由帶正電的原子核和帶負(fù)電的電子組成的、一團(tuán)均勻的“漿糊”，因此人們戲稱它為離子漿，這些離子漿中正負(fù)電荷總量相等，因此它是近似電中性的，所以就叫等離子體。

二、等離子去膠機(jī)（清洗機(jī)）清洗活化晶圓芯片的工作原理：

    在使用等離子去膠機(jī)（等離子清洗機(jī)）中，我們都知道，去膠氣體為氧氣。把需要清洗的晶片放入真空等離子去膠機(jī)反應(yīng)系統(tǒng)中，受高頻及微波能量效果，電離發(fā)生氧離子、游離態(tài)氧原子、氧分子和電子等混合的等離子體形成輝光柱。具有強(qiáng)氧化才能的游離態(tài)氧原子在高頻電壓效果下與光刻膠膜反應(yīng)，最終完成。

真空等離子去膠機(jī)的使用優(yōu)勢(shì)在于它使用操作相對(duì)簡(jiǎn)單，去膠率更高，表面也比較干凈光潔無(wú)劃痕，成本低，環(huán)保。